UV能量計又稱為紫外能量計、UV焦耳計等。是用于檢測紫外能量的一種儀器。儀器用于測量不同波段的UV能量，尤其是用于印刷機器上。確保印刷及干燥之過程達到理想的質量控制。

一、儀器在光刻固化行業的應用

紫外固化光刻膠又稱為光致抗蝕劑，它由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合物。感光樹脂經光照后，在曝光區能很快地發生光固化反應，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發生明顯變化。經適當的溶劑處理，容去可溶性部分，得到所需圖像。紫外固化光刻膠是制造印刷電路板(PCB)電路圖形的關鍵材料，主要分為濕膜光刻膠(又稱為“液態光致抗蝕劑”)和干膜光刻膠兩大類。

二、光刻固化的過程

1.基片前處理：為確保光刻膠能和晶圓表面很好粘貼，形成平滑且結合得很好的膜，必須進行表面準備，保持表面干燥且干凈。

2. 涂光刻膠：涂膠的目標是在晶圓表面建立薄的、均勻的，并且沒有缺陷的光刻膠膜。

3. 前烘(軟烘焙)：前烘的目的是去除膠層內的溶劑，提高光刻膠與襯底的粘附力及膠膜的機械擦傷能力。

4. 對準和曝光：保證器件和電路正常工作的決定性因素是圖形的正確對準，以及光刻膠上的圖形尺寸的形成。所以，涂好光刻膠后，是先把所需圖形在晶圓表面上進行定位或對準。然后是通過曝光將圖形轉移到光刻膠涂層上。

5. 顯影：顯影是指把掩膜版圖案復制到光刻膠上。

6. 后烘(堅膜)：經顯影以后的膠膜發生了軟化、膨脹，膠膜與硅片表面粘附力下降。為了保證下一道刻蝕工序能順利進行，使光刻膠和晶圓表面更好地粘結，必須繼續蒸發溶劑以固化光刻膠。

7. 刻蝕：刻蝕是通過光刻膠暴露區域來去掉晶圓最表層的工藝，主要目標是將光刻掩膜版上的圖案精確地轉移到晶圓表面。

8. 去除光刻膠：刻蝕之后，圖案成為晶圓最表層永久的一部分。作為刻蝕阻擋層的光刻膠層不再需要了，必須從表面去掉。

三、儀器的選擇及應用

UV能量計可使用范圍非常的廣，如UV干燥機(UV光固化)、UV爆光設備、UV油墨、UV涂料、UV膠水、UV印刷、PCB電路板曝光、UV地板漆、UV上光等。作為高質量，高精度的測量儀器，用于測量不同光源在一定條件下的照射能量值，是UV生產過程中極為重要的固化質量檢測儀器，能良好的控制和實現產品固化質量一致性必備工具能量計測量的光譜、感應紫外線波長，等參數都是按照國家標準執行。

使用UV能量計建議選擇林上科技，林上科技有適用于LED 燈的UV能量計也有適用于汞燈的。測量UV固化建議使用LS128，會為您測量紫外線帶來方便。