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真空鍍膜設備的選購要點及光密度在線測試儀怎么選擇?

來源:林上 發布時間:2019/05/23 16:08:00 瀏覽次數:4106

鍍光學薄膜的真空鍍膜機可以安裝光密度在線測試儀,用來連續監控鍍膜在線生產的產品質量.提高真空鍍膜設備生產線上的工作效率。

真空鍍膜設備主要由真空腔、抽氣系統、蒸發系統、成膜控制系統等組件構成的。另外,鍍光學薄膜的真空鍍膜機還可以配置安裝光密度在線檢測系統,林上生產的光密度在線測試儀LS152,是專業用于真空鍍鋁膜、真空磁控濺射鍍太陽膜等光學薄膜生產線上的在線檢測設備。

光密度在線測試儀

真空鍍膜設備被廣泛應用于建材、五金、鐘表、光學、電子、玩具、汽車等行業上。尤其鍍制光學薄膜,被廣泛應用到各光電系統及光學儀器中,如數碼相機、數碼攝像機、能量控制、光通訊、望遠鏡、投影機、顯示技術、微機電系統、信息工業、激光的制作、照明工業、傳感器、建筑玻璃、汽車工業等等。

真空鍍膜設備的選購要點分析如下:

  1. 爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或組合制成的雙層水冷結構。

  2. 根據工藝要求選擇不同規格及類型的鍍膜設備,其類型有電阻蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、磁控反應濺射、離子鍍、多弧離子鍍等。

  3. 真空系統由機械泵、擴散泵、羅茨泵、油增壓泵、增擴泵、堝輪分子泵等以及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。

  4. 夾具運轉形式有自轉、公轉以及公轉+自轉方式,用戶根據基片的尺寸和形狀提出相應的要求,轉動的速度范圍及轉動精度:普通可調及變頻調速等。

  5. 根據工藝要求選擇鍍制方式及形式,如電阻蒸發(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直徑靶材,氣動、電動的引弧等),真空測量可選擇數字式智能真空計及其優質的測量規管,及其它測量儀器,如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀,透過率計等。

  6. 充氣方式可選用質量流量計、浮子流量計+針閥及相應的充氣閥門,并可選擇多路充氣管路及相應流量參數。

  7. 完善的報警系統,對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。

  8. 根據需烘烤的結構提出烘烤溫度、材質以及所需配備相應儀表測量。

  9. 根據設備使用特點,可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。

由于鍍制光學薄膜最為廣泛,所以真空鍍膜設備適合選擇LS152真空鍍膜在線測厚儀,用來連續監控鍍膜在線生產的產品質量。生產產品出來后通過光源探測光譜中薄膜的可見光透光率來判斷鍍膜厚度的均勻性。從而提高真空鍍膜設備生產線上的工作效率。

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